ข่าวอุตสาหกรรม

การออกแบบห้องทำความสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ต้องปฏิบัติตามมาตรฐานของสมาคมอุปกรณ์และวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ระหว่างประเทศอย่างเคร่งครัดและ "รหัสการออกแบบโรงงานที่สะอาดในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์" กระบวนการออกแบบควรอยู่บนพื้นฐานของแนวคิดการจัดการความเสี่ยงโดยคำนึงถึงความต้องการของกระบวนการการควบคุมสิ่งแวดล้อมความปลอดภัยในการดำเนินงานและองค์ประกอบอื่น ๆ เกรดห้องสะอาดต้องกำหนดตามข้อกำหนดของกระบวนการโดยปกติพื้นที่หลักจะต้องใช้ระดับ ISO 3-5 ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิและความชื้นจะต้องถึง± 0.1 ℃และ± 1% RH。

I. ข้อกำหนดในการออกแบบรูปแบบสถาปัตยกรรม

ใช้แนวคิดเค้าโครงแบบแยกส่วนแบ่งพื้นที่การทำงานอย่างชัดเจนเช่นพื้นที่กระบวนการหลักพื้นที่เสริมพื้นที่อุปกรณ์และอื่น ๆ อุปกรณ์กระบวนการควรจัดเรียงตามลำดับการไหลของกระบวนการและเส้นทางการถ่ายโอนวัสดุจะสั้นที่สุด ห้องสำหรับการทำให้บริสุทธิ์ของบุคลากรควรตั้งอยู่ที่ทางเข้าพื้นที่สะอาดซึ่งประกอบด้วยกระบวนการที่สมบูรณ์เช่นการเปลี่ยนรองเท้าเสื้อคลุมอาบน้ำการสวมใส่เสื้อผ้าที่สะอาด

ห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ ความสูงสุทธิไม่ควรต่ำกว่า 3.0 เมตรความสูงของแซนวิชทางเทคนิคไม่น้อยกว่า 1.8 เมตร ระยะห่างของอุปกรณ์ต้องพิจารณาความต้องการในการใช้งานและบำรุงรักษาความกว้างของทางเดินหลักไม่น้อยกว่า 2.0 เมตร พื้นที่ติดตั้งอุปกรณ์ขนาดใหญ่ควรตั้งทางเข้าอุปกรณ์เคลื่อนย้ายและขนาดเป็นไปตามข้อกำหนดในการเข้าและออกอุปกรณ์สูงสุด

II. มาตรฐานระบบฟอกอากาศ

พื้นที่หลักใช้การไหลทางเดียวในแนวตั้งและควบคุมความเร็วลมที่ 0.45 ± 0.1 m / s อัตราผ้าเต็มของตัวกรอง HEPA ไม่น้อยกว่า 80% และอัตราการเปิดตะแกรงอากาศกลับไม่น้อยกว่า 50% จำนวนการระบายอากาศในพื้นที่ที่ไม่ใช่ทิศทางเดียวไม่น้อยกว่า 50 ครั้ง / ชั่วโมงเพื่อให้แน่ใจว่าการไหลของอากาศมีการกระจายอย่างสม่ำเสมอ

ความแตกต่างของความดันระหว่าง Clean Zone และ Non Clean Zone ไม่น้อยกว่า 15Pa และ 10Pa ระหว่าง Clean Room ในเกรดที่แตกต่างกัน การไล่ระดับสีความแตกต่างของความดันควรเป็นไปตามหลักการของการลดลงจากพื้นที่ที่มีความสะอาดสูงไปยังพื้นที่ที่มีความสะอาดต่ำ ควรตั้งเซ็นเซอร์ความแตกต่างของความดันในพื้นที่สำคัญเพื่อให้เกิดการตรวจสอบแบบเรียลไทม์

III มาตรฐานการควบคุมพารามิเตอร์สิ่งแวดล้อม

ความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิห้องสะอาดเซมิคอนดักเตอร์ 22 ± 0.5 ℃ (โซนพิมพ์หิน); ความแม่นยำในการควบคุมความชื้นสัมพัทธ์ 45 ± 3%; เซ็นเซอร์อุณหภูมิและความชื้นควรตั้งจุดวัดทุก 100 ตารางเมตร ระบบควรมีความสามารถในการตอบสนองที่รวดเร็วความผันผวนของอุณหภูมิและความชื้นไม่เกินช่วงที่ตั้งไว้

การควบคุมความสะอาด≥0.1μmความเข้มข้นของอนุภาคไม่เกิน 10,000 ชิ้น / ลบ.ม. (ISO ระดับ 5); ≥0.3μmความเข้มข้นของอนุภาคไม่เกิน 1020 ชิ้น / ลบ.ม. (ISO เกรด 5); ความกว้างของพื้นที่อุปกรณ์ที่มีความแม่นยำในการควบคุมการสั่นสะเทือนขนาดเล็กไม่เกิน 1 μm; ความต้านทานพื้นผิวของการควบคุมไฟฟ้าสถิต 106-109Ω

IV. มาตรฐานการกำหนดค่าสาธารณูปโภค

ความต้านทานของระบบน้ำบริสุทธิ์≥18.2MΩ· cm (25 ℃); ปริมาณคาร์บอนอินทรีย์ทั้งหมด≤5μg / L; จำนวนแบคทีเรียทั้งหมด ≤10CFU / 100ml; ระบบนี้ใช้น้ำประปาหมุนเวียนและอัตราการไหลไม่น้อยกว่า 1 เมตร / วินาที

ท่อส่งก๊าซพิเศษสำหรับห้องสะอาดใช้สแตนเลสเกรด EP ความบริสุทธิ์ของแก๊ส ≥99.999%; ปริมาณอนุภาค≤0.1μm; พร้อมกับการตรวจสอบออนไลน์และอุปกรณ์ตัดฉุกเฉิน

V. มาตรฐานการออกแบบป้องกันการสั่นสะเทือนของไมโคร

พื้นที่อุปกรณ์ที่มีความแม่นยำของโครงสร้างป้องกันการสั่นสะเทือนตั้งรากฐานที่เป็นอิสระ ความถี่การสั่นสะเทือนของโครงสร้างถูกควบคุมต่ำกว่า 25Hz; ใช้ตัวแยกการสั่นสะเทือนแบบสปริงประสิทธิภาพการแยกการสั่นสะเทือนไม่น้อยกว่า 95% ฐานรากอุปกรณ์และโครงสร้างอาคารตั้งค่ารอยต่อแยก

อุปกรณ์ป้องกันการสั่นสะเทือนของพัดลมปั๊มน้ำและอุปกรณ์ไฟฟ้าอื่น ๆ ตั้งค่าพื้นฐานการลดการสั่นสะเทือน ระบบท่อตั้งค่าการเชื่อมต่อที่ยืดหยุ่น ที่แขวนท่ออากาศใช้ไม้แขวนเสื้อการสั่นสะเทือน โต๊ะทำงานของอุปกรณ์ความแม่นยำตั้งค่าอุปกรณ์แยกการสั่นสะเทือนแบบลอยตัว